ジャコバン派内では、ロベスピエール、もしくはサン・ジュストとクートンを加えた「三頭政治家」へのダントン派（寛容派）とエベール派の戦いという形で分派闘争が起きる。
1794年1月8日、ロベスピエールは、ジャコバン・クラブで、両派を激しく非難する演説を行なう。
矛先はまずダントン派に向けられた。インド会社の解散に伴う清算における横領が発覚し（インド会社事件）、1794年1月13日、ファーブル・デグランティーヌが逮捕され、外国人から収賄している議員の名前を暴露した。これにより議員や銀行家、投機家が逮捕された。
2月、ロベスピエールは「民衆の革命政府の原動力は徳と恐怖である。徳なき恐怖は有害であり、恐怖なき徳は無力である」という有名な演説を行い、革命政府を擁護する。
2月末から3月初め、サン・ジュストが、反革命派の土地を没収し貧困者に無償で配分する、ヴァントーズ法を提案する。これには民衆運動を味方につける狙いがあった。 エベール派は民衆に対して公安委員会に反対して革命的運動をとるよう呼びかけた。3月13日、国民公会でサン・ジュストが「悪徳に対して戦え」と叫んだことから、エベール派の指導者が逮捕された。3月23日、エベール、ロンサン、モモロ、クローツなどの過激派は、外国人と通謀し、市民を腐敗させる計画を練っていたとして処刑された。
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その後、ロベスピエールは盟友のダントンを排除することを決定し、ダントンの腐敗について記したノートをサン・ジュストに手渡した。国民公会でダントンの逮捕が決定され、3月30日にダントンはカミーユ・デムーランらと共に逮捕された。ダントンは法廷で熱弁をふるい検事の論告を押し返したが、発言が停止させられ、彼が退席したまま討論が続けられ、4月4日に死刑判決が出され、翌日執行された。ダントンは首切り役人に「俺の首を人民に見せてやれ。それだけの値打ちはある」と語った。断頭台はダントン派の処刑で血の海となり、首切り役人は言われたとおりダントンの首を高々と差し上げて群集に示した。
パリで革命裁判所が設置された1793年4月から94年6月10日までに、1251人が処刑されたのに対し、審理を経ない略式判決が許された6月11日から7月27日、（テルミドール9日）までの僅か47日間で、パリの断頭台は1376名の血を吸い込んだ。
恐怖政治のために反革命容疑で逮捕拘束された者は約50万人、死刑の宣告を受けて処刑されたものは約1万6千人、それに内戦地域で裁判なしで殺された者の数を含めれば約4万人にのぼるとみられる。
恐怖政治は疑心暗鬼の悪循環を生み出し、ロベスピエールらを孤立化させ、テルミドール反動を惹起する。